Anello in grafite con forno a vuoto/Anello in grafite ad alta-temperatura

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Anello in grafite con forno a vuoto/Anello in grafite ad alta-temperatura
Dettagli
Gli anelli di grafite per forni a vuoto/gli anelli di grafite ad alta-temperatura sono componenti strutturali a forma di anello-resistenti alle alte-temperature-realizzati in grafite pressata isostatica di elevata-purezza, grafite impregnata, grafite rivestita o grafite flessibile. Questi componenti sono sottoposti a grafitizzazione ad alta-temperatura, purificazione e lavorazione CNC di precisione, fungendo da parti universali essenziali per forni a vuoto, forni ad alta-temperatura in atmosfera inerte e forni di sinterizzazione industriali ad alta-temperatura.
Classificazione del prodotto
Stampo di grafite
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Descrizione
Graphite Support Ring For Monocrystalline Silicon – 99.99% (4N) High Purity Isostatic Graphite

I prodotti sono ampiamente installati sulle flange del corpo del forno, sull'albero di trasmissione, sui componenti del campo termico, sulla periferia del crogiolo, sulla struttura di deviazione e sul giunto della porta del forno. In base alla loro funzione si classificano in cinque categorie: anelli di supporto, anelli di guida, anelli di tenuta, anelli di isolamento termico e anelli di pressione.
Modello specializzato per forni a vuoto: si concentra su purezza ultra-elevata, emissioni di gas estremamente basse e tasso di perdita basso, adatto per ambienti ad alto vuoto ed elimina completamente la contaminazione da impurità del pezzo all'interno del forno;
Modello generale ad alta-temperatura: si concentra su una resistenza al calore estremamente elevata, resistenza allo shock termico e resistenza all'erosione chimica, adatto per atmosfere inerti e condizioni di lavoro ad alta-temperatura di ossigeno-contenente ossigeno a breve termine.
Condizioni operative normali: grado di vuoto da 10−3 a 10−6 Pa; La temperatura di funzionamento a lungo-termine in un'atmosfera di vuoto/argon/azoto è compresa tra 1800 e 2200 gradi; La grafite non rivestita ha una temperatura inferiore o uguale a 450 gradi in un ambiente atmosferico, mentre il modello rivestito in SiC/BN può resistere a temperature atmosferiche fino a 1800 gradi.

 

Anello di supporto: sostiene il crogiolo di grafite, la copertura isolante, l'elemento riscaldante e altri componenti del campo termico, sostiene il carico e li posiziona, prevenendo la deformazione ad alta-temperatura;
Anello di guida: vincola lo spostamento radiale dell'asta di cristallo, dell'asta di trasmissione e del meccanismo di sollevamento, garantendo coassialità e stabilità di funzionamento;
Anello di tenuta: Separa il gas all'interno e all'esterno del forno, mantiene il grado di vuoto del corpo forno, suddiviso in tenuta statica (flangia/porta forno) e tenuta dinamica (albero di trasmissione);
Anello di isolamento termico: blocca la radiazione e la conduzione del calore, riduce la differenza di temperatura del corpo del forno, riduce l'aumento di temperatura dell'involucro del forno, risparmia energia e riduce i consumi;
Anello di pressione/Anello di bloccaggio: preme lo strato isolante e la guarnizione di tenuta, fissa l'intera struttura del campo termico.

Graphite Support Ring For Monocrystalline Silicon – 99.99% (4N) High Purity Isostatic Graphite

 

High Purity Isostatic Graphite Guide Ring For CZ Single Crystal Furnace

Principali classificazioni dei materiali e scenari applicabili

 

Anello in grafite di pressatura isostatica ad elevata-purezza (per applicazioni di vuoto-di fascia alta)
È formato mediante pressatura isostatica a freddo, con contenuto fisso di carbonio maggiore o uguale al 99,95% (4N) / 99,999% (5N). I grani cristallini sono fini, la struttura è isotropa e la porosità è estremamente bassa. Il volume di scarico del vuoto è estremamente basso, non vengono precipitate impurità, la precisione dimensionale e la stabilità termica sono le migliori. Viene utilizzato principalmente in apparecchiature di fascia alta-come semiconduttori, forni fotovoltaici a cristallo singolo e forni per trattamento termico a vuoto ultra-alto.
Anello di grafite densa impregnata (modello generale industriale)
Il blocco di grafite di base è impregnato e sigillato con resina/asfalto per bloccare i micro-pori, migliorando significativamente la tenuta all'aria e la capacità anti-permeazione. Ha prestazioni ad alto costo. È adatto per forni di sinterizzazione sotto vuoto convenzionali, forni di tempra, forni per metallurgia delle polveri ed è il modello generale più comunemente utilizzato nel campo industriale.

Principio di funzionamento

 

Supporto strutturale: utilizzando le caratteristiche di alta densità ed elevata resistenza della grafite, può sopportare e posizionare stabilmente carichi ad alte temperature, mantenendo la concentricità della struttura dell'apparecchiatura;
Sigillatura sotto vuoto: il substrato denso di grafite combinato con il processo di impregnazione sigilla i micropori, riducendo il tasso di permeabilità al gas e, in combinazione con la struttura flessibile, ottenendo una sigillatura sotto vuoto a lungo- termine;
Controllo del campo termico: sfruttando l'elevata conduttività termica e le caratteristiche di bassa espansione della grafite, è possibile bilanciare il campo di temperatura all'interno del forno, bloccando al contempo il trasferimento di calore, ottenendo isolamento e conservazione del calore;
Protezione pulita: il materiale ad altissima-purezza non volatilizza né rilascia impurità metalliche alle alte temperature, proteggendo il pezzo dalla contaminazione;
Self-lubricating dynamic sealing: The natural layered self-lubricating property of graphite, in a vacuum environment, no lubricating oil is required, and the transmission components will not cold weld or bite together.

High Purity Isostatic Graphite Guide Ring For CZ Single Crystal Furnace

 

Caratteristiche prestazionali principali

 

Vantaggi principali generali (rispetto ad accessori in gomma, PTFE e metallo)
Resistenza al calore estremamente elevata, con stabilità termica estremamente elevata
Resistenza alla temperatura a lungo-termine di 1800~2200 gradi in vuoto/atmosfera inerte, con una temperatura massima a breve-termine che raggiunge i 2800 gradi; coefficiente di dilatazione termica estremamente basso, nessuna deformazione, fessurazione o scorrimento in caso di riscaldamento e raffreddamento ripetuti o grave shock termico.
Confronto: la gomma e il PTFE hanno una resistenza alla temperatura massima di soli 200 gradi circa e si carbonizzano rapidamente e si guastano alle alte temperature; Gli accessori metallici si ammorbidiscono, si deformano e subiscono una deformazione permanente superiore a 600 gradi.

Vacuum Furnace Graphite Seal Parts | High Temperature Low Outgassing Graphite Gasket & Ring
High Purity Isostatic Graphite Guide Ring For CZ Single Crystal Furnace

Caratteristiche prestazionali principali

 

Auto-lubrificante e anti-aderente, funzionamento regolare delle guarnizioni dinamiche
La grafite possiede naturalmente proprietà auto-lubrificanti. In un ambiente sotto vuoto-privo di olio, l'albero di trasmissione e le parti mobili non si saldano a freddo né si attaccano tra loro, presentano un'usura minima e riducono significativamente i tassi di guasto delle apparecchiature e i costi di manutenzione.
Eccezionale resistenza agli shock termici, lunga durata
Può resistere a frequenti cicli termici di 20 gradi ↔1600 gradi, con più di 50 cicli senza crepe o problemi di formazione di scorie; assenza di difetti di invecchiamento o indurimento di gomma o materiali plastici. Mantiene prestazioni stabili in condizioni di temperatura-elevata-a lungo termine e prevede un ciclo di sostituzione molto più lungo rispetto agli accessori tradizionali.

Guida alla selezione semplice

 

Ultra-vuoto elevato (10−5∼10−6 Pa) + semiconduttore/processo fotovoltaico ad alta-purezza → Anello in grafite isostatica ad alta-purezza 5N
Forno industriale convenzionale sotto vuoto, forno di sinterizzazione (10−3∼10−4 Pa) → anello di grafite densa impregnato
Condizioni di alta-temperatura, contatto a breve-termine con l'aria, soggetti a ossidazione/scenari adesivi → Anello in grafite rivestito in SiC/BN
Porta del forno, flangia di grande-diametro, principalmente per esigenze di tenuta → anello flessibile in grafite

Graphite Support Ring For Monocrystalline Silicon – 99.99% (4N) High Purity Isostatic Graphite
Articolo Anello in grafite isostatica ad alta-purezza Anello in grafite impregnata Anello in grafite rivestita in SiC/BN Anello flessibile in grafite Condizione di prova
Carbonio fisso Maggiore o uguale a 99,95% / 99,999% Maggiore o uguale al 99,9% Maggiore o uguale al 99,95% Maggiore o uguale al 98,5% Temp. ambiente
Densità apparente (g/cm³) 1.85 ~ 1.95 1.75 ~ 1.85 1.88 ~ 1.92 1.10 ~ 1.40 Temp. ambiente
Porosità apparente Inferiore o uguale all'1,5% Inferiore o uguale al 3,0% Inferiore o uguale all'1,5% - RT
Contenuto di cenere Inferiore o uguale a 10 ~ 50 ppm Inferiore o uguale a 100 ppm Inferiore o uguale a 50 ppm Inferiore o uguale a 500 ppm RT
Temp. continua (Vuoto/Inerte) 2200 gradi 2100 gradi 2200 gradi 1800 gradi Ar/N₂
Temp. massima (Aria) Inferiore o uguale a 450 gradi Inferiore o uguale a 420 gradi Inferiore o uguale a 1800 gradi Inferiore o uguale a 380 gradi Atmosfera
CTE (25~1500 gradi) 4,0 ~ 4,8×10−6/grado 4,2 ~ 5,0×10−6/grado 4,1 ~ 4,9×10−6/grado 4,5 ~ 5,2×10−6/grado / grado
Tasso di perdita di gas Minore o uguale a Minore o uguale a Minore o uguale a Minore o uguale a Alto vuoto
Resistenza alla flessione (MPa) Maggiore o uguale a 45 Maggiore o uguale a 30 Maggiore o uguale a 42 - RT
Granulometria Inferiore o uguale a 10 μm Inferiore o uguale a 15 μm Inferiore o uguale a 10 μm - RT
Tolleranza di lavorazione ±0,01 mm ±0,02 mm ±0,01 mm - RT

 

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